微小電流檢測用Manual Prober(8 inch)
可大範圍對應到12 inch的Wafer及FPD基板等解析之Manual Prober。
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高精準測量 -
低噪音 -
可單手操作
- 透過Guard及Shield的三重構造，可測量到fA程度的微小電流
- 以簡易構造實現低雜音・高精度測量
- 採用空氣軸承台，可單手簡易操作
- 設有安全鎖機構，可防止Contact時因操作錯誤造成Device或Probe損傷
- 利用Thermo Chuck（最低-50℃～+200℃ 有dry air purge預防結露的機構）或Hot Chuck（+40℃～+300℃）評估出溫度依存特性，也可配合其他使用目的進行客製化
