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ウェーハプローバとは

技術紹介

ウェーハプローバとは

ウェーハプローバは、半導体の開発・製造工程において、ウェーハの電気的検査の際に使用する装置です。
電気的検査では、ウェーハ上の個々のデバイスに、測定器やテスタからテスト信号をプローブ針やプローブカードを介して与え、デバイスからの応答信号を戻します。
その際、ウェーハを搬送しデバイス上の決められた位置にコンタクトするために使用する装置がウェーハプローバです。

研究開発用ウェーハプローバに求められる機能

半導体開発では、ウェーハプローバは試作ICの特性評価、信頼性評価、不良解析などに用いられます。
デバイスやプロセスの評価では、ICに用いられるトランジスタ、配線などの要素デバイスのみを集めたTEG（Test Element Group）を高精度に測定・評価するため、電気的なノイズや信号漏れを防ぐ必要があります。
また低温・高温での動作確認や信頼性評価のため温度制御の機能が要求されるほか、ハイパワーデバイスの評価では、測定経路の高耐圧化や低インピーダンスが求められています。

量産テスト用ウェーハプローバに求められる機能

半導体量産工程のウェーハ検査では、プロセスモニタ用のTEGテストや、ICチップの電気的検査による良否判定がおこなわれます。
ウェーハ搬送や位置制御の自動化、対ノイズ性能、信頼性など、様々な機能が求められます。
多数のデバイスに一括コンタクトするための高い剛性や、タクト短縮のため高速制御も不可欠です。また、可用性やメンテナンス性も非常に重要です。