半導体試験装置（テスタ）とは

半導体テスタとは、半導体デバイスに電気信号などを与え、出力される信号を期待値と比較することで、設計仕様通りに動作するかどうかを検査する装置です。ATE（Automated Test Equipment）ともよばれています。
テスタはロジックテスタ、メモリテスタ、アナログテスタに大きく分類されます。通常半導体の検査は、ウェーハ状態で検査するウェーハ検査（ダイ・ソートやプローブ検査などとも呼ばれる）と、パッケージ後に行なわれるパッケージ検査（ファイナル検査などとも呼ばれる）の2段階で行なわれます。ウェーハ検査ではプローバとプローブカードが、パッケージ検査ではハンドラーとテストソケットが、それぞれテスタと共に用いられます。