プローブカードとは
プローブカードは、ウェーハプローバに取り付けられ、LSIチップの電極と、測定機であるLSIテスタとを接続するコネクタのような役割を持ちます。LSIチップの電極にプローブカードの針を接触させ、電気的検査をおこない、良否判定をします。
ウェーハ検査工程の重要性は高く、プローブカードの信頼性が強く求められています。
ウェーハ検査工程の重要性は高く、プローブカードの信頼性が強く求められています。
