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半導体試験装置（テスタ）とは
半導体テスタとは、半導体デバイスに電気信号などを与え、出力される信号を期待値と比較することで、設計仕様通りに動作するかどうかを検査する装置です。ATE（Automated Test Equipment）ともよばれています。
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ウェーハプローバとは
ウェーハプローバは、半導体の開発・製造工程において、ウェーハの電気的検査の際に使用する装置です。
電気的検査では、ウェーハ上の個々のデバイスに、測定器やテスタからテスト信号をプローブ針やプローブカードを介して与え、デバイスからの応答信号を戻します。 -
パッケージプローブ（テストソケット）とは
半導体製造における検査には、二つの重要な検査があります。
一つは前工程でウェーハ面に作られた多数の半導体（ダイ、チップという）を切断分離する前に、チップの電気的特性をおこなうウェーハ検査です。もう一つは、後工程で切断したチップを実装組立（パッケージ）した完成後におこなわれる最終検査です。
ICソケットは最終検査で使用され、ウェーハ検査で使用されるプローブカード同様、デバイスとテスタを繋ぐ大事な役目を果たしています。 （下図参照） -
J-Contactsとは
J-Contactsは、バーインソケットによくある板バネタイプではなく、独特なリジット（一体型）＋エラストマ（シリコンゴム）タイプの接触端子を採用したテストソケットです。そのため、接触端子の長さを従来の板バネより短くすることができ、電気的特性、特に高周波特性に優れたソケットです。
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プローブユニットとは
プローブユニットは、FPDの検査においてプローバに装着し、パネルに接触（コンタクト）することで、電気信号を伝える検査器具です。テストの目的や、パネルのサイズ、解像度等に応じて使用されるタイプが異なります。
