Wafer Prober
ウェーハプローバ
半導体デバイスの特性評価・良否判定のため、ウ ェーハにプローブをコンタクトさせテスタや測定器の電気信号を伝える装置です。 M JC は 、 研 究 開 発 用 の マ ニ ュアル プ ローバ か ら セ ミオートプローバまで、幅広くラインナップしています。
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マニュアルプローバ(研究開発用)
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マニュアルプローバ(研究開発用)
Technical Column
技術の紹介
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ウェーハプローバとは
ウェーハプローバは、半導体の開発・製造工程において、ウェーハの電気的検査の際に使用する装置です。
電気的検査では、ウェーハ上の個々のデバイスに、測定器やテスタからテスト信号をプローブ針やプローブカードを介して与え、デバイスからの応答信号を戻します。
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