マニュアルプローバ（12インチ）
12インチまでのウェーハの解析に幅広く対応する汎用マニュアルプローバです。
- エアベアリングステージ採用により、片手で簡単操作
- スライドテーブルの採用により、広範囲なプロービングエリアを確保
- セーフティロック機構により、コンタクト時の操作ミスによるデバイスとプローブの損傷を防止
- 各種顕微鏡、レーザーカッターシステムの搭載など、使用目的に合わせたカスタマイズが可能
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